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數字式質量流量控制器在多行業中的應用

更新時間:2024-06-12   點擊次數:739次
  數字式質量流量控制器是一種精確控制和測量氣體流量的儀器。廣泛應用于半導體制造、化工生產、生物科技、材料研究以及食品加工等領域,其中對氣體流量的精確控制至關重要。基于熱傳導或差壓原理來測量氣體的質量流量。在熱傳導型dmfc中,傳感器通過兩個溫度傳感器之間的熱量轉移來測量流量。其中一個傳感器被加熱,而另一個則保持在環境溫度。當氣體流動時,熱量從加熱的傳感器轉移到未加熱的傳感器,轉移的量與質量流量成正比。控制器根據這種熱量轉移來調整閥門的開度,從而控制流量。
 

 

  在差壓型dmfc中,利用氣體通過一定形狀的通道時產生的壓力變化來測量流量。該壓力差與流過控制器的氣體質量流量直接相關。通過測量壓力差并使用相應的算法,控制器可以計算出準確的質量流量,并根據需要調節閥門。
  數字式質量流量控制器的主要組件:
  1.流量傳感器:用于檢測流經控制器的氣體流量。
  2.控制閥:通常是一個電子驅動的比例閥,用于調節流量。
  3.微處理器:接收來自流量傳感器的信號,并計算所需的閥門位置以維持設定的流量。
  4.顯示界面:提供用戶交互接口,可以是數字顯示屏或者集成到更大的控制系統中。
  5.通訊接口:如rs-232、rs-485、以太網或者無線模塊等,用于將dmfc集成到自動化系統中。
  特點:
  1.高精度和重復性:dmfc能夠提供非常精確和可重復的流量控制,誤差通常小于1%。
  2.快速響應時間:能夠迅速適應流量設定的變化,對于動態過程控制尤為重要。
  3.寬流量范圍:通過不同的量程選擇,dmfc可以覆蓋從幾毫升每分鐘到數千升每分鐘的流量范圍。
  4.多氣體兼容性:可以校準以適應多種不同的氣體,包括腐蝕性或危險性氣體。
  5.易于集成:數字接口使得dmfc可以輕松集成到復雜的控制系統和自動化過程中。
  6.自我診斷功能:現代dmfc具備自我診斷和報警功能,有助于預防性維護和故障排除。
  數字式質量流量控制器的應用領域:
  1.半導體制造:在蝕刻、沉積和摻雜過程中,精確控制工藝氣體的流量。
  2.化學氣相沉積(cvd):用于制造光纖、太陽能電池和其他高科技產品。
  3.食品加工:控制食品包裝中的氣體混合比例,例如調節大氣保鮮包裝中的氣體成分。
  4.生物反應器:精確控制輸入到生物反應器中的氧氣和營養氣體的流量。
  5.環境監測:在空氣質量監測和排放控制中使用dmfc來確保準確測量。




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